MEMS传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420229200.3

申请日：

2024-01-30

公开(公告)号：

CN222167060U

公开(公告)日：

2024-12-13

发明(设计)人：

付齐季锋刘琛陈有鑫贺锦

申请人：

杭州士兰集昕微电子有限公司

申请人地址：

310012 浙江省杭州市钱塘新区10号大街（东）308号13幢

IPC主分类号：

G01P15/125

IPC分类号：

B81B7/02

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

顾丹丽

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-13	授权	授权

共 50 条

[31] MEMS传感器 [P].

仲谷吾郎 .

中国专利 :CN101792110A ,2010-08-04

[32] MEMS传感器 [P].

宋亚伟 ;

宋学谦 ;

迟海 .

中国专利 :CN112758884A ,2021-05-07

[33] MEMS传感器 [P].

C.费尔 .

中国专利 :CN104132658B ,2014-11-05

[34] MEMS传感器 [P].

A·C··迈克奈尔 ;

A·A··盖斯伯格 ;

D·N··库瑞 ;

G·G··李 .

中国专利 :CN102046513B ,2011-05-04

[35] MEMS传感器 [P].

P·威尔逊 ;

K·科杜尔 .

中国专利 :CN110383680A ,2019-10-25

[36] MEMS传感器 [P].

杨樨 ;

杨洋 ;

王智勇 ;

陈伟 ;

骆超越 ;

孙琦 ;

檀晓轲 ;

薛静 ;

尹岩岩 ;

李鑫 .

中国专利 :CN119528083A ,2025-02-28

[37] MEMS传感器 [P].

宫武亨 ;

小林俊宏 ;

宇都宜隆 ;

矢泽久幸 ;

高桥亨 .

中国专利 :CN102792168B ,2012-11-21

[38] MEMS膜片及MEMS传感器芯片 [P].

何宪龙 .

中国专利 :CN111137843A ,2020-05-12

[39] MEMS传感器封装结构及MEMS传感器 [P].

俞晓 ;

李刚 .

中国专利 :CN222647651U ,2025-03-21

[40] MEMS压力传感器 [P].

湛邵斌 ;

霍红颖 ;

胡涛 ;

高月芳 ;

王新中 .

中国专利 :CN206876312U ,2018-01-12

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