具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980085041.6

申请日：

2019-12-17

公开(公告)号：

CN113226977B

公开(公告)日：

2024-12-20

发明(设计)人：

T·弗里德里希 K·德塞尔 C·赫尔梅斯

申请人：

罗伯特·博世有限公司

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

B81B7/04

IPC分类号：

B81C1/00 G01L9/00

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

侯鸣慧

法律状态：

授权

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-20	授权	授权

共 50 条

[21] MEMS传感器的制备方法及MEMS传感器 [P].

罗志颖 .

中国专利 :CN120208160A ,2025-06-27

[22] MEMS膜片及MEMS传感器芯片 [P].

何宪龙 .

中国专利 :CN110775937B ,2020-02-11

[23] MEMS膜片及MEMS传感器芯片 [P].

何宪龙 .

中国专利 :CN111115557A ,2020-05-08

[24] MEMS膜片及MEMS传感器芯片 [P].

何宪龙 .

中国专利 :CN111137842A ,2020-05-12

[25] MEMS膜片及MEMS传感器芯片 [P].

何宪龙 .

中国专利 :CN111137843A ,2020-05-12

[26] MEMS膜片及MEMS传感器芯片 [P].

何宪龙 .

中国专利 :CN111137841A ,2020-05-12

[27] MEMS传感器组件制造方法、以及以该法制造的MEMS传感器组件 [P].

游振江 ;

林育菁 .

中国专利 :CN110775940A ,2020-02-11

[28] MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

韩可都 ;

刘婧 ;

冯方方 ;

杨长春 .

中国专利 :CN110763870A ,2020-02-07

[29] MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

周永建 ;

张潇筱 ;

刘婧 ;

孟海龙 ;

杨长春 ;

韩可都 ;

冯方方 .

中国专利 :CN111561958A ,2020-08-21

[30] MEMS传感器的制作方法及MEMS传感器 [P].

庄瑞芬 ;

李刚 .

中国专利 :CN117430080A ,2024-01-23

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