具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980085041.6

申请日：

2019-12-17

公开(公告)号：

CN113226977B

公开(公告)日：

2024-12-20

发明(设计)人：

T·弗里德里希 K·德塞尔 C·赫尔梅斯

申请人：

罗伯特·博世有限公司

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

B81B7/04

IPC分类号：

B81C1/00 G01L9/00

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

侯鸣慧

法律状态：

授权

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-20	授权	授权

共 50 条

[1] 具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

T·弗里德里希 ;

K·德塞尔 ;

C·赫尔梅斯 .

中国专利 :CN113226977A ,2021-08-06

[2] MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

C·纳格尔 .

中国专利 :CN113365937A ,2021-09-07

[3] MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

C·纳格尔 .

德国专利 :CN113365937B ,2025-04-15

[4] 用于制造MEMS传感器的方法和MEMS传感器 [P].

M·施泰尔特 .

中国专利 :CN109422239A ,2019-03-05

[5] MEMS传感器以及用于运行MEMS传感器的方法 [P].

A·丹嫩贝格 ;

M·施瓦茨 .

中国专利 :CN113474281A ,2021-10-01

[6] MEMS传感器以及用于运行MEMS传感器的方法 [P].

A·丹嫩贝格 ;

M·施瓦茨 .

德国专利 :CN113474281B ,2024-10-29

[7] MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P].

纸西大祐 ;

M·W·黑勒 ;

藤田有真 .

日本专利 :CN118339460A ,2024-07-12

[8] MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P].

仲谷吾郎 .

中国专利 :CN101353153B ,2009-01-28

[9] MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P].

仲谷吾郎 ;

冈田瑞穗 ;

山下宜久 .

中国专利 :CN101353152A ,2009-01-28

[10] MEMS传感器及MEMS传感器的制造方法 [P].

樱木正広 .

日本专利 :CN118145588A ,2024-06-07

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