一种位移测量装置及测量方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910372003.0
申请日
2019-05-06
公开(公告)号
CN110017751A
公开(公告)日
2019-07-16
发明(设计)人
赵宗良 狄仁举 徐琳琳 惠芳 汤春
申请人
申请人地址
215123 江苏省苏州市工业园区若水路398号D幢9楼
IPC主分类号
G01B502
IPC分类号
代理机构
苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266
代理人
赵晓芳
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[11]   位移测量方法和位移测量装置 [P]. 
小山胜弘 ;
池田正人 .
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[12]   位移测量装置和位移测量方法 [P]. 
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曾有军 ;
安德里亚斯·沃斯 ;
阿明·迈森伯格 .
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[13]   位移测量装置及采用该位移测量装置的位移测量方法 [P]. 
汪晓兵 ;
周松萍 ;
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[14]   位移测量方法以及位移测量装置 [P]. 
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[16]   一种新型位移测量装置及其测量方法 [P]. 
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[19]   位移测量装置、位移测量方法及光刻设备 [P]. 
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[20]   一种自带基准的位移测量装置及测量方法 [P]. 
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