一种高精度双面曝光机

被引：0

申请号：

CN202210639564.4

申请日：

2022-06-07

公开(公告)号：

CN114779596A

公开(公告)日：

2022-07-22

发明(设计)人：

唐文静唐晖朱伟杰

申请人：

申请人地址：

311400 浙江省杭州市富阳区东洲街道大岭山路207号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240

代理人：

徐超

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20220607
2022-07-22	公开	公开

共 50 条

[21] 一种双面曝光机的单向移动曝光机构 [P].

张娜 ;

韩宪彬 ;

张晓伟 .

中国专利 :CN222299947U ,2025-01-03

[22] 一种全自动双面曝光机 [P].

钱志斌 ;

胥涛棚 ;

张雷 ;

李伟成 .

中国专利 :CN113835303A ,2021-12-24

[23] 一种全自动双面曝光机 [P].

钱志斌 ;

胥涛棚 ;

张雷 ;

李伟成 .

中国专利 :CN113835303B ,2025-03-14

[24] 一种全自动双面曝光机 [P].

钱志斌 ;

胥涛棚 ;

张雷 ;

李伟成 .

中国专利 :CN212623568U ,2021-02-26

[25] 一种高精度直写曝光镜头 [P].

蔡志国 ;

龚田 .

中国专利 :CN207301620U ,2018-05-01

[26] 一种高精度投影曝光机自动调焦装置 [P].

欧阳松 ;

吴初耀 ;

杜小丽 ;

钟诗慧 ;

罗永秀 .

中国专利 :CN222867000U ,2025-05-13

[27] 具有高精度定位的卷料LED曝光机 [P].

高荣 .

中国专利 :CN118707813A ,2024-09-27

[28] 一种自动化双面曝光机及其曝光方法 [P].

钱志斌 ;

胥涛棚 ;

张雷 ;

李伟成 .

中国专利 :CN113835301A ,2021-12-24

[29] 一种自动化双面曝光机 [P].

钱志斌 ;

胥涛棚 ;

张雷 ;

李伟成 .

中国专利 :CN213023936U ,2021-04-20

[30] 柔性基板双面曝光机 [P].

余燕青 ;

陶伟荣 .

中国专利 :CN208969427U ,2019-06-11

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