一种高精度投影曝光机自动调焦装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421515160.5

申请日：

2024-06-28

公开(公告)号：

CN222867000U

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

欧阳松吴初耀杜小丽钟诗慧罗永秀

申请人：

翼存（上海）智能科技有限公司

申请人地址：

201802 上海市嘉定区众仁路399号1幢12层B区J6522室

IPC主分类号：

G03B27/34

IPC分类号：

G03F7/20

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

朱彩银

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-13	授权	授权

共 50 条

[1] 一种高精度自动曝光机 [P].

李世华 .

中国专利 :CN210129097U ,2020-03-06

[2] 一种高精度全自动双面曝光机 [P].

李明之 ;

朱伟杰 ;

李壮 .

中国专利 :CN210864317U ,2020-06-26

[3] 一种高精度自动调焦装置 [P].

彭杰 ;

杨小光 ;

包明帝 ;

任晓楠 ;

贺永亮 ;

曹雨 ;

陈国际 .

中国专利 :CN109451242A ,2019-03-08

[4] 一种高精度PCB曝光机 [P].

刘远强 ;

吴强 ;

肖树红 .

中国专利 :CN221804486U ,2024-10-01

[5] 一种高精度快速调焦装置 [P].

张超 ;

赵永峰 ;

董浩 .

中国专利 :CN213399028U ,2021-06-08

[6] 双面曝光机的自动调焦系统 [P].

杨文 .

中国专利 :CN206270649U ,2017-06-20

[7] 立式曝光机的高精度曝光平台 [P].

刘凌益 .

中国专利 :CN218213784U ,2023-01-03

[8] 高精度全自动双面曝光机 [P].

李明之 ;

朱伟杰 ;

李壮 .

中国专利 :CN110376853A ,2019-10-25

[9] 一种高精度调节曝光光强的曝光机 [P].

张杰 ;

曾一鑫 ;

陈伟龙 .

中国专利 :CN223180562U ,2025-08-01

[10] 立式曝光机高精度自动间隙调整系统 [P].

刘凌益 .

中国专利 :CN218213785U ,2023-01-03

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