晶圆承载装置和中转系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920230383.X

申请日：

2019-02-21

公开(公告)号：

CN209544300U

公开(公告)日：

2019-10-25

发明(设计)人：

马成斌

申请人：

申请人地址：

201306 上海市浦东新区泥城镇云水路1000号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

刘翔

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-25	授权	授权

共 50 条

[21] 晶圆承载装置 [P].

王建 ;

胡喆 .

中国专利 :CN215118864U ,2021-12-10

[22] 晶圆承载装置 [P].

李博 ;

简子杰 ;

冉鸿飞 .

中国专利 :CN206574698U ,2017-10-20

[23] 晶圆承载装置 [P].

颜锡铭 .

中国专利 :CN205657049U ,2016-10-19

[24] 晶圆承载装置 [P].

张明星 .

中国专利 :CN201812806U ,2011-04-27

[25] 晶圆承载装置 [P].

王全 ;

胡少坚 .

中国专利 :CN203456430U ,2014-02-26

[26] 晶圆承载装置 [P].

董坤玲 ;

段晓炳 ;

张鹏斌 ;

范铎 ;

陈鲁 ;

张嵩 .

中国专利 :CN218385169U ,2023-01-24

[27] 晶圆承载装置 [P].

冀菲 ;

董玉爽 ;

张秀全 .

中国专利 :CN217280713U ,2022-08-23

[28] 晶圆承载装置 [P].

许圣奇 ;

林祺浩 ;

胡瀚承 .

中国专利 :CN114724989B ,2025-06-06

[29] 晶圆承载装置 [P].

许明明 ;

董国庆 ;

文国昇 ;

董建民 .

中国专利 :CN217009152U ,2022-07-19

[30] 晶圆承载装置 [P].

黄子朋 .

中国专利 :CN112908925A ,2021-06-04

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