晶圆承载装置和中转系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920230383.X

申请日：

2019-02-21

公开(公告)号：

CN209544300U

公开(公告)日：

2019-10-25

发明(设计)人：

马成斌

申请人：

申请人地址：

201306 上海市浦东新区泥城镇云水路1000号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

刘翔

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-25	授权	授权

共 50 条

[1] 晶圆中转承载装置 [P].

刘振 ;

刘闻敏 ;

张亚新 ;

吴凤丽 ;

王燚 ;

叶五毛 .

中国专利 :CN112736016A ,2021-04-30

[2] 晶圆中转承载装置 [P].

刘振 ;

刘闻敏 ;

张亚新 ;

吴凤丽 ;

王燚 ;

叶五毛 .

中国专利 :CN112736016B ,2024-04-19

[3] 一种晶圆承载装置和晶圆承载系统 [P].

孙少东 ;

周厉颖 ;

王丽荣 .

中国专利 :CN203950791U ,2014-11-19

[4] 中转系统 [P].

肖益华 .

中国专利 :CN208234107U ,2018-12-14

[5] 晶圆承载装置 [P].

王坚 ;

金一诺 ;

王晖 .

中国专利 :CN104347465A ,2015-02-11

[6] 晶圆承载装置 [P].

王坚 ;

金一诺 ;

王晖 .

中国专利 :CN104347466A ,2015-02-11

[7] 晶圆承载装置 [P].

龙浩 ;

宋新星 ;

王建新 .

中国专利 :CN212277166U ,2021-01-01

[8] 晶圆承载装置 [P].

黄子朋 .

中国专利 :CN210837705U ,2020-06-23

[9] 晶圆承载装置 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222927467U ,2025-05-30

[10] 晶圆承载装置和晶舟 [P].

张学良 ;

高海林 .

中国专利 :CN204885123U ,2015-12-16

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