光学特性测量装置及光学特性测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480045838.0

申请日：

2014-08-13

公开(公告)号：

CN105473999B

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

小野修司

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

G01N2147

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

樊建中

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-06	公开	公开
2016-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101658414629 IPC(主分类):G01N 21/47 专利申请号:2014800458380 申请日:20140813
2018-01-19	授权	授权

共 50 条

[21] 光学测量装置及光学测量方法 [P].

田口都一 .

日本专利 :CN120558845A ,2025-08-29

[22] 光学测量装置及光学测量方法 [P].

田口都一 .

中国专利 :CN112710634A ,2021-04-27

[23] 光学测量装置、光学测量系统及光学测量方法 [P].

张健 ;

臧笑妍 ;

孙建超 ;

庄源 .

中国专利 :CN120445042A ,2025-08-08

[24] 光学测量装置、光学测量系统及光学测量方法 [P].

徐添财 .

中国专利 :CN103293157A ,2013-09-11

[25] 光学测量装置和光学测量方法 [P].

铃木俊平 ;

今西慎吾 ;

桥本学治 ;

堂胁优 .

中国专利 :CN102192872B ,2011-09-21

[26] 各向异性半导体光学特性测量装置及其测量方法 [P].

张璐 ;

展永政 ;

林宁亚 ;

张青 .

中国专利 :CN117740742A ,2024-03-22

[27] 镜片特性测量装置及镜片特性测量方法 [P].

杂贺诚 .

中国专利 :CN109556834B ,2019-04-02

[28] 表面特性测量方法及坐标测量装置 [P].

D·费格尔 .

中国专利 :CN1256567C ,2004-09-15

[29] 初缩掩模版和光学特性测量方法 [P].

盐出吉宏 .

中国专利 :CN1625796A ,2005-06-08

[30] 光学特性测量方法、曝光方法及组件制造方法 [P].

小杉润一 ;

蛭川茂 ;

近藤尚人 .

中国专利 :CN102696095A ,2012-09-26

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