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一种计算光刻的深度学习方法
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专利类型:
发明
申请号:
CN201910484136.7
申请日:
2019-06-05
公开(公告)号:
CN110187609B
公开(公告)日:
2019-08-30
发明(设计)人:
马旭
郑现强
申请人:
申请人地址:
100081 北京市海淀区中关村南大街5号
IPC主分类号:
G03F720
IPC分类号:
G06N304
代理机构:
北京理工大学专利中心 11120
代理人:
温子云
法律状态:
实质审查的生效
国省代码:
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法律状态
法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
2019-09-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190605 |
2019-08-30 | 公开 | 公开 |
2020-08-21 | 授权 | 授权 |