硅通孔检测电路及其检测方法、集成电路

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201811333520.9
申请日
2018-11-09
公开(公告)号
CN111175630A
公开(公告)日
2020-05-19
发明(设计)人
林祐贤 吕翼君 杨正杰
申请人
申请人地址
230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
IPC主分类号
G01R3128
IPC分类号
G01R3152 G01R130
代理机构
北京律智知识产权代理有限公司 11438
代理人
袁礼君;阚梓瑄
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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