共 50 条
一种柔性等离子体源特性分析系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111054712.8
申请日：
2021-09-09
公开(公告)号：
CN113747645A
公开(公告)日：
2021-12-03
发明(设计)人：
蒋睿珈
刘诗筠
申请人：
申请人地址：
211816 江苏省南京市江北新区浦珠南路30号
IPC主分类号：
H05H100
IPC分类号：
代理机构：
北京盛询知识产权代理有限公司 11901
代理人：
方亚兵
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-03 | 公开 | 公开 |
| 2021-12-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H05H 1/00 申请日:20210909 |
