微波等离子体源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN00136262.3

申请日：

2000-12-26

公开(公告)号：

CN1317924A

公开(公告)日：

2001-10-17

发明(设计)人：

武洪臣

申请人：

申请人地址：

100024北京市340信箱

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

航空航天工业部航空专利事务所

代理人：

李建英

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H05H 1/46 申请日:20001226 授权公告日:20040225 终止日期:20171226
2001-09-19	实质审查的生效	实质审查的生效
2001-10-17	公开	公开
2004-02-25	授权	授权

共 50 条

[1] 微波等离子体源 [P].

国中均 .

中国专利 :CN111149438B ,2020-05-12

[2] 微波等离子体源和等离子体处理装置 [P].

小松智仁 ;

池田太郎 ;

藤野丰 .

中国专利 :CN104717820B ,2015-06-17

[3] 微波等离子体源和等离子体处理装置 [P].

河西繁 .

中国专利 :CN101385129B ,2009-03-11

[4] 微波等离子体源和等离子体处理装置 [P].

池田太郎 ;

长田勇辉 .

中国专利 :CN102458032A ,2012-05-16

[5] 微波等离子体源离子注入装置 [P].

郭华聪 .

中国专利 :CN1087128A ,1994-05-25

[6] 波导缝隙式微波等离子体源 [P].

王邱林 ;

张鹏程 ;

吉皓 .

中国专利 :CN216795347U ,2022-06-21

[7] 小功率微波等离子体源 [P].

廖斌 ;

周蓓 ;

曹焕丽 ;

朱守正 .

中国专利 :CN101184359A ,2008-05-21

[8] 模块式微波等离子体源 [P].

菲利普·艾伦·克劳斯 ;

蔡泰正 .

中国专利 :CN113690125A ,2021-11-23

[9] 微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置 [P].

池田太郎 .

中国专利 :CN101971302B ,2011-02-09

[10] 模块式微波等离子体源 [P].

菲利普·艾伦·克劳斯 ;

蔡泰正 .

中国专利 :CN109564843B ,2019-04-02

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