惯性传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510624576.X

申请日：

2015-09-25

公开(公告)号：

CN105241476A

公开(公告)日：

2016-01-13

发明(设计)人：

季锋闻永祥刘琛孙伟

申请人：

申请人地址：

310012 浙江省杭州市黄姑山路4号

IPC主分类号：

G01C2500

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

余毅勤

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-01-13	公开	公开
2018-06-01	授权	授权
2016-02-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101645684340 IPC(主分类):G01C 25/00 专利申请号:201510624576X 申请日:20150925

共 50 条

[1] 压力传感器及其制作方法 [P].

季锋 ;

闻永祥 ;

刘琛 ;

孙伟 .

中国专利 :CN105241587A ,2016-01-13

[2] 惯性传感器及其制作方法 [P].

闻永祥 ;

范伟宏 ;

刘琛 ;

季锋 .

中国专利 :CN105628054A ,2016-06-01

[3] 惯性传感器之制作方法 [P].

王传蔚 .

中国专利 :CN118702054A ,2024-09-27

[4] 双向微惯性传感器及其制作方法 [P].

董林玺 ;

颜海霞 ;

孙玲玲 .

中国专利 :CN101173958A ,2008-05-07

[5] 集成的惯性传感器芯片及其制作方法 [P].

庄瑞芬 ;

李诺伦 ;

胡维 .

中国专利 :CN117246975B ,2024-01-26

[6] 惯性传感器 [P].

季锋 ;

闻永祥 ;

刘琛 ;

孙伟 .

中国专利 :CN204958380U ,2016-01-13

[7] 惯性微机电传感器及其制作方法 [P].

毛剑宏 ;

唐德明 .

中国专利 :CN102530832B ,2012-07-04

[8] 惯性传感器、惯性传感器装置及其制造方法 [P].

松永雅敬 ;

佐藤健二 .

中国专利 :CN101126646A ,2008-02-20

[9] 一种MEMS惯性传感器及其集成制作方法 [P].

黄晟 ;

魏晓莉 ;

周宇 ;

刘玉 ;

沈金龙 ;

刘华启 ;

姚少罕 ;

闫凯荣 ;

金振阳 ;

杨瑾翔 ;

聂育健 .

中国专利 :CN118790952A ,2024-10-18

[10] 制作MEMS惯性传感器的方法及MEMS惯性传感器 [P].

王志玮 ;

唐德明 ;

张镭 ;

毛剑宏 ;

韩凤芹 .

中国专利 :CN103373698A ,2013-10-30

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