惯性传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510624576.X

申请日：

2015-09-25

公开(公告)号：

CN105241476A

公开(公告)日：

2016-01-13

发明(设计)人：

季锋闻永祥刘琛孙伟

申请人：

申请人地址：

310012 浙江省杭州市黄姑山路4号

IPC主分类号：

G01C2500

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

余毅勤

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-01-13	公开	公开
2018-06-01	授权	授权
2016-02-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101645684340 IPC(主分类):G01C 25/00 专利申请号:201510624576X 申请日:20150925

共 50 条

[21] MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

马天军 ;

李娜 ;

孙建海 ;

薛宁 ;

张淼 ;

程建群 ;

孙旭光 ;

方刚 .

中国专利 :CN118392945A ,2024-07-26

[22] 压力传感器及其制作方法 [P].

陈敏 ;

马清杰 .

中国专利 :CN103616123A ,2014-03-05

[23] MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

张绍达 ;

高胜国 ;

钟克创 ;

古瑞琴 .

中国专利 :CN105987935A ,2016-10-05

[24] 压力传感器及其制作方法 [P].

钱栋彪 .

中国专利 :CN105092110A ,2015-11-25

[25] CMOS图像传感器及其制作方法 [P].

肖海波 .

中国专利 :CN102738190B ,2012-10-17

[26] MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

马天军 ;

李娜 ;

孙建海 ;

薛宁 ;

张淼 ;

程建群 ;

孙旭光 ;

方刚 .

中国专利 :CN118392945B ,2024-10-22

[27] 惯性传感器及其制造方法 [P].

伊藤启太郎 ;

原田翔太 ;

后藤胜昭 ;

稻垣优辉 ;

明石照久 ;

船桥博文 ;

吉田贵彦 ;

川合祐辅 .

中国专利 :CN115144613A ,2022-10-04

[28] 惯性传感器及其制造方法 [P].

汪建平 ;

邓登峰 .

中国专利 :CN110058052A ,2019-07-26

[29] 惯性传感器及其制备方法 [P].

庄瑞芬 ;

胡维 ;

李刚 .

中国专利 :CN113401862A ,2021-09-17

[30] 惯性传感器及其制备方法 [P].

庄瑞芬 ;

胡维 ;

李刚 .

中国专利 :CN113401862B ,2024-05-14

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