制作MEMS惯性传感器的方法及MEMS惯性传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210126539.2

申请日：

2012-04-26

公开(公告)号：

CN103373698A

公开(公告)日：

2013-10-30

发明(设计)人：

王志玮唐德明张镭毛剑宏韩凤芹

申请人：

申请人地址：

215613 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

G01D5241

代理机构：

张家港市高松专利事务所(普通合伙) 32209

代理人：

孙高

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

共 50 条

[1] MEMS压力传感器、MEMS惯性传感器集成结构 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN104891418A ,2015-09-09

[2] MEMS压力传感器、MEMS惯性传感器集成结构 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN204675826U ,2015-09-30

[3] 惯性传感器和MEMS器件 [P].

A·托齐奥 ;

F·里奇尼 ;

C·瓦尔扎希纳 ;

G·兰格弗尔德 ;

C·R·马拉 .

中国专利 :CN209043927U ,2019-06-28

[4] MEMS惯性传感器、湿度传感器集成装置 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN204758028U ,2015-11-11

[5] 一种MEMS惯性传感器 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN204758628U ,2015-11-11

[6] MEMS惯性传感器及其形成方法 [P].

柳连俊 .

中国专利 :CN102156203B ,2011-08-17

[7] 用于MEMS惯性传感器的接口 [P].

艾曼·埃尔萨伊德 ;

艾哈迈德·埃尔马拉哈 ;

艾哈迈德·叶利舍纳威 ;

艾哈迈德·沙班 ;

布特罗斯·乔治 ;

穆斯塔法·埃尔马拉 ;

艾曼·伊斯梅尔 ;

穆斯塔法·萨克尔 ;

艾哈迈德·穆赫塔尔 .

中国专利 :CN106289221B ,2017-01-04

[8] 用于MEMS惯性传感器的接口 [P].

艾曼·埃尔萨伊德 ;

艾哈迈德·埃尔马拉哈 ;

艾哈迈德·叶利舍纳威 ;

艾哈迈德·沙班 ;

布特罗斯·乔治 ;

穆斯塔法·埃尔马拉 ;

艾曼·伊斯梅尔 ;

穆斯塔法·萨克尔 ;

艾哈迈德·穆赫塔尔 .

中国专利 :CN103119723B ,2016-08-03

[9] 一种MEMS惯性传感器芯片模组以及MEMS传感器 [P].

虢晓双 ;

杨靖 ;

张新凯 ;

熊亮 ;

黎傲雪 ;

彭健 .

中国专利 :CN215364898U ,2021-12-31

[10] 一种MEMS惯性传感器 [P].

郑国光 .

中国专利 :CN204555991U ,2015-08-12

← 1 2 3 4 5 →

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-10-30	公开	公开
2015-09-16	授权	授权
2019-12-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B81C 1/00 登记生效日:20191210 变更事项:专利权人变更前权利人:上海丽恒光微电子科技有限公司变更后权利人:丽水珏意芯诚电子科技合伙企业（有限合伙）变更事项:地址变更前权利人:201203 上海浦东新区龙东大道3000号5号楼501B 变更后权利人:323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道石牛路268号1幢B座303-6室
2022-08-26	专利权质押合同登记的生效、变更及注销	专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 登记号:Y2022330001717 登记生效日:20220811 出质人:浙江珏芯微电子有限公司质权人:浙江泰隆商业银行股份有限公司丽水分行发明名称:制作MEMS惯性传感器的方法及MEMS惯性传感器申请日:20120426 授权公告日:20150916
2019-05-28	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B81C 1/00 登记生效日:20190508 变更事项:专利权人变更前权利人:张家港丽恒光微电子科技有限公司变更后权利人:上海丽恒光微电子科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:215613 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村变更后权利人:201203 上海浦东新区龙东大道3000号5号楼501B
2020-04-10	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):B81C 1/00 登记生效日:20200320 变更事项:专利权人变更前权利人:丽水珏意芯诚电子科技合伙企业（有限合伙）变更后权利人:浙江珏芯微电子有限公司变更事项:地址变更前权利人:323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道石牛路268号1幢B座303-6室变更后权利人:323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道石牛路268号1幢B座307室
2013-11-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101545323579 IPC(主分类):B81C 1/00 专利申请号:2012101265392 申请日:20120426