一种基于超分辨生成对抗网络的光刻对准图像增强方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510343450.9
申请日
2025-03-21
公开(公告)号
CN120259123A
公开(公告)日
2025-07-04
发明(设计)人
蔡林沁 冯润之 傅舰艇 林世超
申请人
重庆邮电大学 苏州中特微电子科技有限公司
申请人地址
400065 重庆市南岸区黄桷垭崇文路2号
IPC主分类号
G06T5/70
IPC分类号
G06T5/60 G06T5/40 G06T3/4076 G06T3/4046 G06N3/0475 G06N3/045
代理机构
北京鼎云升知识产权代理事务所(普通合伙) 11495
代理人
张晓庆
法律状态
实质审查的生效
国省代码
江苏省 苏州市
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共 50 条
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