共 50 条
一种基于超分辨生成对抗网络的光刻对准图像增强方法
被引:0
专利类型:
发明
申请号:
CN202510343450.9
申请日:
2025-03-21
公开(公告)号:
CN120259123A
公开(公告)日:
2025-07-04
发明(设计)人:
蔡林沁
冯润之
傅舰艇
林世超
申请人:
重庆邮电大学
苏州中特微电子科技有限公司
申请人地址:
400065 重庆市南岸区黄桷垭崇文路2号
IPC主分类号:
G06T5/70
IPC分类号:
G06T5/60
G06T5/40
G06T3/4076
G06T3/4046
G06N3/0475
G06N3/045
代理机构:
北京鼎云升知识产权代理事务所(普通合伙) 11495
代理人:
张晓庆
法律状态:
实质审查的生效
国省代码:
江苏省
苏州市
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法律状态
法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
2025-07-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G06T 5/70申请日:20250321 |
2025-07-04 | 公开 | 公开 |