一种基于H型气浮导轨的运动平台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710832517.0

申请日：

2017-09-15

公开(公告)号：

CN107498324A

公开(公告)日：

2017-12-22

发明(设计)人：

尹自强刘震刘浩林剑柴宁

申请人：

申请人地址：

510062 广东省广州市越秀区东风东路729号大院

IPC主分类号：

B23Q138

IPC分类号：

B23Q1108

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

罗满

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-22	公开	公开
2020-04-17	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B23Q 1/38 申请公布日:20171222

共 50 条

[21] 一种平面气浮导轨误差均化的共基面运动平台 [P].

张君安 ;

刘锡尧 ;

刘波 ;

赵晓龙 .

中国专利 :CN205008869U ,2016-02-03

[22] 基于狭缝型气膜间隙节流的圆柱气浮导轨 [P].

张君安 ;

资同江 ;

卢志伟 ;

刘波 .

中国专利 :CN103982545B ,2014-08-13

[23] 倒挂气浮运动平台 [P].

李伟民 ;

赵裕兴 .

中国专利 :CN120646474A ,2025-09-16

[24] 一种应用于晶圆划片的气浮运动平台 [P].

胡天 .

中国专利 :CN221125911U ,2024-06-11

[25] 一种T型大负载气浮导轨 [P].

张坤 ;

王禄 ;

郭宏亮 ;

赵栋杰 ;

王怡旎 ;

李孟月 .

中国专利 :CN221401376U ,2024-07-23

[26] 一种多轴向气浮运动导轨装置 [P].

胡一飞 ;

王志纲 .

中国专利 :CN222668700U ,2025-03-25

[27] 一种多轴高精度气浮运动平台 [P].

郑学刚 ;

刘乐章 ;

尹振圆 .

中国专利 :CN223265192U ,2025-08-26

[28] 气浮平面运动平台的质量补偿系统 [P].

刘杨 ;

李宗哲 ;

陈兴林 ;

强盛 ;

刘启循 ;

李欣 ;

陈震宇 .

中国专利 :CN104015943A ,2014-09-03

[29] 一种刚度可调的气浮导轨 [P].

陈万群 ;

滕翔宇 ;

霍德鸿 ;

陈高强 ;

丁辉 .

中国专利 :CN113833765B ,2024-02-06

[30] 一种刚度可调的气浮导轨 [P].

陈万群 ;

滕翔宇 ;

霍德鸿 ;

陈高强 ;

丁辉 .

中国专利 :CN113833765A ,2021-12-24

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