一种结构改进的充油型扩散硅压阻式压力传感器

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专利类型
实用新型
申请号
CN200920108882.8
申请日
2009-06-16
公开(公告)号
CN201413214Y
公开(公告)日
2010-02-24
发明(设计)人
季刚
申请人
申请人地址
100083北京市海淀区学院路37号107楼0213号
IPC主分类号
G01L118
IPC分类号
代理机构
北京金硕果知识产权代理事务所
代理人
张 玫
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
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