一种高精度控温的沉积系统

被引：0

申请号：

CN202222244881.4

申请日：

2022-08-25

公开(公告)号：

CN217930603U

公开(公告)日：

2022-11-29

发明(设计)人：

胡祥龙戴煜周岳兵魏巍肖乐王艳艳

申请人：

申请人地址：

410000 湖南省长沙市中国（湖南）自由贸易试验区长沙片区星沙产业基地（长龙街道）凉塘东路1271号

IPC主分类号：

G01K702

IPC分类号：

G01K306

代理机构：

长沙智路知识产权代理事务所(普通合伙) 43244

代理人：

张毅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-29	授权	授权

共 50 条

[21] 一种高精度蓄热式燃气加热炉控温系统 [P].

王全山 ;

张荣岑 ;

汤清军 .

中国专利 :CN211400774U ,2020-09-01

[22] 晶圆镀液的高精度控温系统 [P].

周浩 ;

李宗颖 ;

张萍 ;

李勇刚 ;

李玉萍 .

中国专利 :CN212412018U ,2021-01-26

[23] 一种高精度控温空调系统及控制方法 [P].

张洪亮 ;

管功宾 ;

王学文 ;

纪腾飞 ;

任宏跃 ;

于浩坤 ;

李珍 .

中国专利 :CN120368475A ,2025-07-25

[24] 一种高精度控温空调系统及控制方法 [P].

张洪亮 ;

管功宾 ;

王学文 ;

纪腾飞 ;

任宏跃 ;

于浩坤 ;

李珍 .

中国专利 :CN120368475B ,2025-08-22

[25] 一种高精度控温双层静态腐蚀实验槽 [P].

周小兵 ;

赵宇飞 ;

顾建萍 .

中国专利 :CN210198933U ,2020-03-27

[26] 一种高精度控温供冷模块 [P].

冯毅 ;

余高峰 ;

陈瑞莲 ;

梁文强 ;

谭庆秋 .

中国专利 :CN113028696A ,2021-06-25

[27] 一种高精度控温供冷模块 [P].

冯毅 ;

余高峰 ;

陈瑞莲 ;

梁文强 ;

谭庆秋 .

中国专利 :CN214581974U ,2021-11-02

[28] 一种高精度的泵控系统 [P].

李海根 .

中国专利 :CN201818569U ,2011-05-04

[29] 双向调节高精度控温阀芯总成 [P].

蒋飞龙 ;

刘清昌 ;

秦家旺 .

中国专利 :CN209839224U ,2019-12-24

[30] 一种用于锻造加热炉的高精度控温系统 [P].

郑平 .

中国专利 :CN104914892A ,2015-09-16

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