一种高精度控温的沉积系统

被引：0

申请号：

CN202222244881.4

申请日：

2022-08-25

公开(公告)号：

CN217930603U

公开(公告)日：

2022-11-29

发明(设计)人：

胡祥龙戴煜周岳兵魏巍肖乐王艳艳

申请人：

申请人地址：

410000 湖南省长沙市中国（湖南）自由贸易试验区长沙片区星沙产业基地（长龙街道）凉塘东路1271号

IPC主分类号：

G01K702

IPC分类号：

G01K306

代理机构：

长沙智路知识产权代理事务所(普通合伙) 43244

代理人：

张毅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-29	授权	授权

共 50 条

[1] 高精度控温系统 [P].

付聪 ;

陈之渊 ;

陈正达 ;

项金冬 ;

于志伟 ;

唐怀武 ;

林汝德 ;

李志航 ;

张康 ;

黄小卓 ;

李志杰 .

中国专利 :CN119806235A ,2025-04-11

[2] 一种高精度控温的冷却成型系统 [P].

吴建明 ;

许健 .

中国专利 :CN203125928U ,2013-08-14

[3] 高精度控温电源 [P].

金曼军 .

中国专利 :CN2704156Y ,2005-06-08

[4] 一种高精度控温装置 [P].

孙春雨 ;

赵若铭 ;

吴建 ;

方中 .

中国专利 :CN209103169U ,2019-07-12

[5] 一种高精度控温模温机 [P].

沈繁年 ;

李丽 .

中国专利 :CN222245984U ,2024-12-27

[6] 一种高精度控温电路 [P].

章雪妮 .

中国专利 :CN204650320U ,2015-09-16

[7] 一种具有高精度控温功能的电化学沉积槽 [P].

蒋新 ;

张军 ;

施利君 ;

陈书良 .

中国专利 :CN214400260U ,2021-10-15

[8] 一种芯片高精度控温系统 [P].

张敏 ;

林伟 ;

梁艳川 .

中国专利 :CN119717946B ,2025-09-23

[9] 一种芯片高精度控温系统 [P].

张敏 ;

林伟 ;

梁艳川 .

中国专利 :CN119717946A ,2025-03-28

[10] 一种高精度控温加热台 [P].

张晓晶 .

中国专利 :CN216354247U ,2022-04-19

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