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一种高精度双面曝光机
被引:0
申请号:
CN202210639564.4
申请日:
2022-06-07
公开(公告)号:
CN114779596A
公开(公告)日:
2022-07-22
发明(设计)人:
唐文静
唐晖
朱伟杰
申请人:
申请人地址:
311400 浙江省杭州市富阳区东洲街道大岭山路207号
IPC主分类号:
G03F900
IPC分类号:
G03F720
代理机构:
杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240
代理人:
徐超
法律状态:
实质审查的生效
国省代码:
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法律状态
法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
2022-08-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20220607 |
2022-07-22 | 公开 | 公开 |