光刻设备与辐射传感器及辐射传感器制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710127311.4

申请日：

2007-07-02

公开(公告)号：

CN101109908A

公开(公告)日：

2008-01-23

发明(设计)人：

海柯·V·柯克阿里西·J·范德西斯

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

齐晓寰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-01-23	公开	公开
2009-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-02-16	授权	授权

共 50 条

[1] 辐射传感器 [P].

L·E·安托努克 .

中国专利 :CN107425020A ,2017-12-01

[2] 辐射传感器 [P].

Ｃ·Ｊ·阿尔德 .

中国专利 :CN1054946C ,1996-08-07

[3] 辐射传感器、晶片、传感器模块和用于制造辐射传感器的方法 [P].

马丁·豪斯纳 ;

于尔根·席尔茨 ;

弗瑞德·普洛茨 ;

赫尔曼·卡拉格左克鲁 .

中国专利 :CN1784355A ,2006-06-07

[4] 辐射传感器 [P].

大卫·米尼基利 ;

米歇尔·托尼奥 ;

弗里德里希·弗里德尔 .

中国专利 :CN107438900A ,2017-12-05

[5] 辐射传感器 [P].

E·芬德雷 .

中国专利 :CN103314281A ,2013-09-18

[6] 辐射传感器 [P].

E·芬德莱 .

中国专利 :CN102538955A ,2012-07-04

[7] 辐射传感器 [P].

T·J·克雷尔纳 ;

P·J·斯特劳布 ;

R·特威尼 .

中国专利 :CN101196423A ,2008-06-11

[8] 辐射传感器及其制造方法 [P].

H·高特罗布 ;

M·施密特 ;

C·戈鲍尔 .

中国专利 :CN113261115A ,2021-08-13

[9] 辐射传感器、车辆传感器结构和组装方法 [P].

J.米尔皮德 ;

E.杜鲁普特 ;

Y.维达尔 ;

D.米拉森 .

中国专利 :CN110243469A ,2019-09-17

[10] 辐射传感器、车辆传感器结构和组装方法 [P].

J.米尔皮德 ;

E.杜鲁普特 ;

Y.维达尔 ;

D.米拉森 .

法国专利 :CN110243469B ,2024-01-02

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