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基于Abbe矢量成像模型的光学邻近效应校正的优化方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110268330.5
申请日：
2011-09-09
公开(公告)号：
CN102323723B
公开(公告)日：
2012-01-18
发明(设计)人：
马旭
李艳秋
董立松
申请人：
申请人地址：
100081 北京市海淀区中关村南大街5号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
G03F136
代理机构：
北京理工大学专利中心 11120
代理人：
李爱英;杨志兵
法律状态：
发明专利更正
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-03-06 | 发明专利更正 | 发明专利公报更正 号牌文件类型代码:1608 号牌文件序号:101524393447 卷:28 号:03 页码:无 申请号:2011102683305 IPC(主分类):G03F0007200000 修正类型代码:无 更正项目:说明书 权利要求书 误:公式中存在乱码 正:公示显示正常 |
| 2012-03-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101197915627 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011102683305 申请日:20110909 |
| 2021-08-20 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20110909 授权公告日:20130717 终止日期:20200909 |
| 2012-01-18 | 公开 | 公开 |
| 2013-07-17 | 授权 | 授权 |
