惯性传感器、惯性传感器的制造方法以及电子设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310119819.5

申请日：

2013-04-08

公开(公告)号：

CN103378061B

公开(公告)日：

2013-10-30

发明(设计)人：

古畑诚

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L23528

IPC分类号：

H01L21768 B81B702 B81C100 G01C195769

代理机构：

北京金信知识产权代理有限公司 11225

代理人：

黄威;苏萌萌

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101609247042 IPC(主分类):H01L 23/528 专利申请号:2013101198195 申请日:20130408
2013-10-30	公开	公开
2017-08-29	授权	授权

共 50 条

[1] 惯性传感器、惯性传感器的制造方法以及惯性测量装置 [P].

泷泽照夫 ;

上野和纪 ;

后藤大树 .

日本专利 :CN117330057A ,2024-01-02

[2] 惯性传感器的制造方法以及惯性传感器 [P].

泷泽照夫 ;

成瀬敦纪 ;

高木成和 .

中国专利 :CN105628973A ,2016-06-01

[3] 惯性传感器、电子设备、移动体及惯性传感器的制造方法 [P].

泷泽照夫 .

中国专利 :CN111929468B ,2020-11-13

[4] 惯性传感器、电子设备 [P].

朱怀远 ;

贾孟儒 .

中国专利 :CN115727839B ,2025-09-05

[5] 惯性传感器的形成方法、惯性传感器及电子设备 [P].

李哲 ;

庄瑞芬 ;

李诺伦 .

中国专利 :CN120403625A ,2025-08-01

[6] 惯性传感器模块以及电子设备 [P].

佐久间正泰 .

日本专利 :CN119023997A ,2024-11-26

[7] 惯性传感器装置以及惯性传感器装置的制造方法 [P].

日吉泰德 .

日本专利 :CN113776522B ,2024-12-10

[8] 惯性传感器装置以及惯性传感器装置的制造方法 [P].

日吉泰德 .

中国专利 :CN113776522A ,2021-12-10

[9] 惯性传感器及惯性传感器的制造方法 [P].

松久和弘 .

中国专利 :CN101135561B ,2008-03-05

[10] 惯性传感器、电子部件以及惯性传感器的制造方法 [P].

泷泽照夫 ;

小林知永 .

日本专利 :CN120333418A ,2025-07-18

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