湿度传感器元件及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02800644.5

申请日：

2002-03-11

公开(公告)号：

CN1301404C

公开(公告)日：

2003-11-26

发明(设计)人：

涩江明南波宪良

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01N2712

IPC分类号：

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

王健

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-29	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):G01N 27/12 申请日:20020311 授权公告日:20070221
2003-11-26	公开	公开
2007-02-21	授权	授权
2004-02-04	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1] 湿度传感器及其传感器元件 [P].

S·H·吉尔斯卡 ;

M·C·帕拉佐托 ;

K·A·莱温斯基 .

中国专利 :CN103547915B ,2014-01-29

[2] 湿度传感器及其制造方法 [P].

钟景浩 ;

颜世虹 ;

邱韦诚 .

中国专利 :CN1987442A ,2007-06-27

[3] 集成湿度传感器及其制造方法 [P].

H·本泽尔 .

中国专利 :CN103946697A ,2014-07-23

[4] 湿度传感器和传感器元件 [P].

S·H·格里斯卡 ;

K·A·莱温斯基 ;

M·C·帕拉佐托 .

中国专利 :CN104487831A ,2015-04-01

[5] 湿度传感器及其制造方法 [P].

新美直久 ;

酒井峰一 .

中国专利 :CN103748457A ,2014-04-23

[6] 湿度传感器及其制造方法 [P].

K·埃尔霍恩 .

中国专利 :CN101040181B ,2007-09-19

[7] 湿度传感器及其制造方法 [P].

三谷勇太 .

中国专利 :CN110715962A ,2020-01-21

[8] 集成式湿度传感器及其制造方法 [P].

苏梅英 ;

曹立强 .

中国专利 :CN109444235A ,2019-03-08

[9] 湿度传感器及其制作方法 [P].

涩江明 ;

南波宪良 .

中国专利 :CN1235043C ,2001-11-07

[10] 湿度传感器和制造该传感器的方法 [P].

S.E.贝克 ;

B.G.莫法特 .

中国专利 :CN107533027A ,2018-01-02

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