湿度传感器及其制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN200580034554.2
申请日
2005-10-17
公开(公告)号
CN101040181B
公开(公告)日
2007-09-19
发明(设计)人
K·埃尔霍恩
申请人
申请人地址
丹麦奥登塞
IPC主分类号
G01N2722
IPC分类号
G01N2712 G01N2704
代理机构
北京润平知识产权代理有限公司 11283
代理人
周建秋;王凤桐
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]   集成湿度传感器及其制造方法 [P]. 
H·本泽尔 .
中国专利 :CN103946697A ,2014-07-23
[2]   湿度传感器及其制造方法 [P]. 
新美直久 ;
酒井峰一 .
中国专利 :CN103748457A ,2014-04-23
[3]   湿度传感器及其制造方法 [P]. 
钟景浩 ;
颜世虹 ;
邱韦诚 .
中国专利 :CN1987442A ,2007-06-27
[4]   湿度传感器及其制造方法 [P]. 
三谷勇太 .
中国专利 :CN110715962A ,2020-01-21
[5]   湿度传感器元件及其制造方法 [P]. 
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[6]   湿度传感器、湿度传感器阵列及其制备方法 [P]. 
唐佛南 ;
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叶强强 .
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[7]   集成式湿度传感器及其制造方法 [P]. 
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[8]   具有湿度传感器的尿布制造方法 [P]. 
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[9]   MEMS惯性传感器、湿度传感器集成装置及其制造方法 [P]. 
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[10]   湿度检测传感器及其制造方法 [P]. 
遁所淳 ;
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