MEMS传感器、电子设备

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专利类型
发明
申请号
CN201010180708.1
申请日
2010-05-14
公开(公告)号
CN101885465A
公开(公告)日
2010-11-17
发明(设计)人
高木成和
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
B81B702
IPC分类号
G01P15125
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
张宝荣
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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[23]   MEMS传感器芯片、麦克风和电子设备 [P]. 
刘松 ;
邱冠勋 ;
周宗燐 .
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