MEMS传感器器件和相关MEMS传感器器件的晶片级组件

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410181932.0
申请日
2014-04-28
公开(公告)号
CN104140071B
公开(公告)日
2014-11-12
发明(设计)人
S·康蒂 M·佩尔勒蒂 R·卡米纳蒂 L·巴尔多 A·莫塞利
申请人
申请人地址
意大利阿格拉布里安扎
IPC主分类号
B81B700
IPC分类号
代理机构
北京市金杜律师事务所 11256
代理人
王茂华
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]   MEMS传感器器件组件和电子设备 [P]. 
S·康蒂 ;
M·佩尔勒蒂 ;
R·卡米纳蒂 ;
L·巴尔多 ;
A·莫塞利 .
中国专利 :CN204281296U ,2015-04-22
[2]   MEMS传感器器件 [P]. 
A·托齐奥 ;
F·里奇尼 ;
L·奎利诺尼 .
中国专利 :CN206348355U ,2017-07-21
[3]   惯性传感器和MEMS器件 [P]. 
A·托齐奥 ;
F·里奇尼 ;
C·瓦尔扎希纳 ;
G·兰格弗尔德 ;
C·R·马拉 .
中国专利 :CN209043927U ,2019-06-28
[4]   MEMS器件、器件和MEMS热传感器的制造方法 [P]. 
洪蔡豪 ;
郭仕奇 .
中国专利 :CN110950298A ,2020-04-03
[5]   MEMS传感器 [P]. 
刘清惓 ;
李海涛 ;
韩晓丹 ;
曹鸿霞 .
中国专利 :CN103743789A ,2014-04-23
[6]   MEMS传感器组件 [P]. 
W.帕尔 .
中国专利 :CN107635910A ,2018-01-26
[7]   MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P]. 
纸西大祐 ;
M·W·黑勒 ;
藤田有真 .
日本专利 :CN118339460A ,2024-07-12
[8]   MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P]. 
仲谷吾郎 .
中国专利 :CN101353153B ,2009-01-28
[9]   MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P]. 
仲谷吾郎 ;
冈田瑞穗 ;
山下宜久 .
中国专利 :CN101353152A ,2009-01-28
[10]   传感器MEMS器件悬臂封装 [P]. 
S·科杜里 .
中国专利 :CN104411619B ,2015-03-11