一种高精度自复位探针式位移测量装置及测量方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201710416896.5
申请日
2017-06-06
公开(公告)号
CN106989712A
公开(公告)日
2017-07-28
发明(设计)人
张燕
申请人
申请人地址
130000 吉林省长春市经济技术开发区浦东路2058号3楼
IPC主分类号
G01B2102
IPC分类号
G01B2120 G01B2132
代理机构
长春吉大专利代理有限责任公司 22201
代理人
刘程程
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
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夏志刚 ;
李旭阳 ;
张晶晶 ;
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[42]   一种累加式纳米步进器位移测量装置和测量方法 [P]. 
夏志刚 ;
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