气浮磁控精密运动平台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710045497.9

申请日：

2007-08-31

公开(公告)号：

CN101158815A

公开(公告)日：

2008-04-09

发明(设计)人：

袁志扬王天明刘育

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-04-09	公开	公开
2008-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-10-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1] 一种气浮精密运动平台 [P].

尹自强 ;

罗思鑫 ;

王素娟 ;

张霞峰 ;

林剑 ;

魏棵榕 ;

郭亚文 ;

姚建华 ;

孔德坤 .

中国专利 :CN108466173B ,2018-08-31

[2] 一种精密运动平台 [P].

袁志扬 ;

王天明 ;

刘育 .

中国专利 :CN201097109Y ,2008-08-06

[3] 气浮运动平台 [P].

郑清雄 ;

汪孝军 .

中国专利 :CN114310808A ,2022-04-12

[4] 气浮运动平台 [P].

李伟民 ;

韩秋杰 ;

南阳 ;

赵裕兴 .

中国专利 :CN120589389A ,2025-09-05

[5] 气浮运动平台 [P].

邵勇锋 ;

黄龙 ;

黄亮 ;

胡文峰 .

中国专利 :CN211127522U ,2020-07-28

[6] 气浮运动平台 [P].

郑清雄 ;

汪孝军 .

中国专利 :CN216781724U ,2022-06-21

[7] 一种精密气浮龙门运动平台 [P].

商宇游 ;

张涛涛 .

中国专利 :CN120269369A ,2025-07-08

[8] 精密气浮直线平台 [P].

肖国丰 ;

陈志强 .

中国专利 :CN214418183U ,2021-10-19

[9] 一种气悬浮精密运动平台 [P].

魏志忠 .

中国专利 :CN212600245U ,2021-02-26

[10] 倒挂气浮运动平台 [P].

李伟民 ;

赵裕兴 .

中国专利 :CN120646474A ,2025-09-16

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