一种精密运动平台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200720076165.2

申请日：

2007-11-14

公开(公告)号：

CN201097109Y

公开(公告)日：

2008-08-06

发明(设计)人：

袁志扬王天明刘育

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L2168 H02K4103 H02K3318

代理机构：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-08-06	授权	授权
2017-12-26	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20071114 授权公告日:20080806

共 50 条

[1] 气浮磁控精密运动平台 [P].

袁志扬 ;

王天明 ;

刘育 .

中国专利 :CN101158815A ,2008-04-09

[2] 一种高精密运动平台 [P].

咸涛 .

中国专利 :CN210487615U ,2020-05-08

[3] 一种精密运动平台 [P].

刘永忠 .

中国专利 :CN209998752U ,2020-01-31

[4] 一种气悬浮精密运动平台 [P].

魏志忠 .

中国专利 :CN212600245U ,2021-02-26

[5] 一种精密运动平台及其运动末端定位模组 [P].

高健 ;

谭宇韬 ;

张揽宇 ;

陈云 ;

贺云波 ;

汤晖 ;

陈新 .

中国专利 :CN206241997U ,2017-06-13

[6] 一种微型两轴精密运动平台 [P].

马润海 ;

陈志波 ;

杨名 ;

唐鑫 .

中国专利 :CN218216563U ,2023-01-03

[7] 一种二维精密运动平台 [P].

王淑珍 ;

黄桂琴 ;

马利民 ;

杨高杰 ;

黄广霞 .

中国专利 :CN206550653U ,2017-10-13

[8] 一种二维精密运动平台 [P].

高健 ;

钟永彬 ;

张揽宇 ;

张金迪 ;

陈新 ;

陈云 ;

汤晖 ;

贺云波 .

中国专利 :CN207953769U ,2018-10-12

[9] 双工位精密运动平台 [P].

赵裕兴 ;

赵德福 .

中国专利 :CN223198258U ,2025-08-08

[10] 一种六自由度精密运动平台 [P].

张家政 ;

吴少芳 .

中国专利 :CN222945509U ,2025-06-06

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