微机电系统传感器、其制造方法及电子设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111315809.X

申请日：

2021-11-08

公开(公告)号：

CN114148986A

公开(公告)日：

2022-03-08

发明(设计)人：

邹泉波周良丁凯文张贺存李刚周汪洋赵海轮冷群文

申请人：

申请人地址：

266101 山东省青岛市崂山区科苑纬一路1号青岛国际创新园二期F楼

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B700 B81B702

代理机构：

北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442

代理人：

王永亮

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-08	公开	公开
2022-03-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 1/00 申请日:20211108

共 50 条

[1] 微机电系统传感器、其制造方法及电子设备 [P].

邹泉波 ;

周良 ;

丁凯文 ;

张贺存 ;

李刚 ;

周汪洋 ;

赵海轮 ;

冷群文 .

中国专利 :CN114148986B ,2025-02-07

[2] 微机电系统传感器及微机电系统传感器的制造方法 [P].

服部敦夫 .

中国专利 :CN101850943A ,2010-10-06

[3] 一种微机电系统传感器及电子设备 [P].

王栋杰 ;

陈磊 ;

朱恩成 ;

张强 ;

丁凯文 ;

周汪洋 .

中国专利 :CN115524037A ,2022-12-27

[4] 微机电系统磁传感器单体、其校准和制造方法及电子设备 [P].

邹泉波 .

中国专利 :CN115348515A ,2022-11-15

[5] 微机电传感器、其制造方法以及电子设备 [P].

高木成和 ;

佐藤彰 .

中国专利 :CN101830426A ,2010-09-15

[6] 微机电系统传感器的封装结构和电子设备 [P].

邱文瑞 ;

王德信 ;

刘兵 .

中国专利 :CN212387731U ,2021-01-22

[7] 微机电系统传感器的封装结构及其封装方法、及电子设备 [P].

邱文瑞 ;

王德信 ;

刘兵 .

中国专利 :CN111533082A ,2020-08-14

[8] 微机电系统传感器的封装结构及其封装方法、及电子设备 [P].

邱文瑞 ;

王德信 ;

刘兵 .

中国专利 :CN111533082B ,2024-05-24

[9] 微机电系统磁阻传感器、传感器单体及电子设备 [P].

邹泉波 ;

冷群文 ;

丁凯文 ;

赵海轮 ;

安琪 ;

周汪洋 ;

王喆 ;

宋青林 .

中国专利 :CN112014778A ,2020-12-01

[10] 微机电系统力学传感器、传感器单体及电子设备 [P].

邹泉波 ;

冷群文 ;

丁凯文 ;

赵海轮 ;

安琪 ;

周汪洋 ;

王喆 ;

宋青林 .

中国专利 :CN112014001B ,2020-12-01

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