基板温度测量装置及基板温度测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910734046.9

申请日：

2019-08-09

公开(公告)号：

CN111089659A

公开(公告)日：

2020-05-01

发明(设计)人：

朴永秀孙侐主朴商弼柳守烈金永镐金学杜

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道安城市

IPC主分类号：

G01K114

IPC分类号：

G01K102 H01L2167 H01L2166

代理机构：

北京铭硕知识产权代理有限公司 11286

代理人：

李盛泉;孙昌浩

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-23	授权	授权
2020-05-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01K 1/14 申请日:20190809
2020-05-01	公开	公开

共 50 条

[1] 基板温度测量装置及基板温度测量方法 [P].

中原健 ;

川崎雅司 ;

大友明 ;

塚崎敦 .

中国专利 :CN101802574A ,2010-08-11

[2] 温度测量装置及温度测量方法 [P].

清水兴子 .

中国专利 :CN104048771B ,2014-09-17

[3] 温度测量装置及温度测量方法 [P].

严晓勇 ;

钟志华 ;

罗华林 .

中国专利 :CN113588120A ,2021-11-02

[4] 温度测量装置及温度测量方法 [P].

伊势居良仁 ;

村松真臣 ;

末松芳章 ;

吉田圭佑 ;

森芳宗 .

日本专利 :CN119422039A ,2025-02-11

[5] 温度测量装置及温度测量方法 [P].

严晓勇 ;

钟志华 ;

罗华林 .

中国专利 :CN113588120B ,2025-02-28

[6] 温度测量装置以及温度测量方法 [P].

后藤健次 .

中国专利 :CN104083151A ,2014-10-08

[7] 温度测量装置和温度测量方法 [P].

松土龙夫 ;

舆水地盐 .

中国专利 :CN102692282B ,2012-09-26

[8] 温度测量装置以及温度测量方法 [P].

后藤健次 .

中国专利 :CN102247127B ,2011-11-23

[9] 温度测量装置以及温度测量方法 [P].

清水兴子 .

中国专利 :CN102706470B ,2012-10-03

[10] 温度测量装置及其温度测量方法 [P].

刘兴昌 .

中国专利 :CN101470027A ,2009-07-01

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