直写曝光机及双面曝光方法

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申请号
CN202110006710.5
申请日
2021-01-05
公开(公告)号
CN114721227A
公开(公告)日
2022-07-08
发明(设计)人
蔡志国 江俊龙
申请人
申请人地址
215011 江苏省苏州市高新区火炬路85号
IPC主分类号
G03F720
IPC分类号
G03F900 H05K306
代理机构
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235
代理人
郭红岩
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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