一种位移台分辨率和精度检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920935980.2

申请日：

2019-06-20

公开(公告)号：

CN210004952U

公开(公告)日：

2020-01-31

发明(设计)人：

李胜斌陈琳李和平

申请人：

申请人地址：

550081 贵州省贵阳市观山湖区林城西路99号

IPC主分类号：

G01B1100

IPC分类号：

G01M1300

代理机构：

贵阳中新专利商标事务所 52100

代理人：

商小川

法律状态：

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国省代码：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-31	授权	授权

共 50 条

[21] 光刻机曝光精度的高空间分辨率和高精度检测方法 [P].

刘海清 ;

朱忻 ;

王冬云 .

中国专利 :CN119247707A ,2025-01-03

[22] 一种面向跑道线的变分辨率高精度检测方法和系统 [P].

高大化 ;

张李阳 ;

刘丹华 .

中国专利 :CN114821156A ,2022-07-29

[23] 一种面向跑道线的变分辨率高精度检测方法和系统 [P].

高大化 ;

张李阳 ;

刘丹华 .

中国专利 :CN114821156B ,2024-10-25

[24] 一种超高分辨率光栅尺检测装置 [P].

赵海涛 .

中国专利 :CN221630640U ,2024-08-30

[25] 一种高分辨率透射式PCBA缺陷检测装置 [P].

苏铭楦 ;

刘俊杰 ;

张盛坤 ;

邱少雄 .

中国专利 :CN222337047U ,2025-01-10

[26] 一种蒙皮外形精度检测装置 [P].

张明枝 ;

段香辉 ;

周维 .

中国专利 :CN214951256U ,2021-11-30

[27] 检测智能终端GOOSE分辨率的系统 [P].

黄天啸 ;

孟超 ;

马锁明 ;

高旭 ;

刘蔚 ;

王丰 ;

刘苗 ;

刘平 ;

王沛然 ;

辛光明 ;

张硕 ;

张思琪 ;

吴涛 ;

臧景茹 ;

李烜 .

中国专利 :CN203491787U ,2014-03-19

[28] 一种能提高精度和分辨率的双CCD测量装置 [P].

杨威 ;

杨建 .

中国专利 :CN211651646U ,2020-10-09

[29] 超高分辨率光栅尺检测装置 [P].

刘梅 .

中国专利 :CN213902247U ,2021-08-06

[30] 一种工业相机镜头光学投影检测分辨率板 [P].

王敏 ;

寇远凤 ;

黄耀林 .

中国专利 :CN106525393A ,2017-03-22

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