一种表面平坦度测量装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811395350.7

申请日：

2018-11-22

公开(公告)号：

CN109341606A

公开(公告)日：

2019-02-15

发明(设计)人：

张进朋

申请人：

申请人地址：

430079 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

IPC主分类号：

G01B1130

IPC分类号：

代理机构：

深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300

代理人：

黄威

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-15	公开	公开
2019-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/30 申请日:20181122
2020-12-18	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B 11/30 申请公布日:20190215

共 50 条

[11] 一种抛光后非接触式测量硅片平坦度的装置 [P].

吴文军 ;

贺贤汉 .

中国专利 :CN216206092U ,2022-04-05

[12] 检测显示面板表面平坦度的装置及方法 [P].

徐德智 ;

段献学 ;

陈程 .

中国专利 :CN104677314A ,2015-06-03

[13] 平坦度测量装置和系统 [P].

尹文文 .

中国专利 :CN221959448U ,2024-11-05

[14] 硅片表面平坦度的优化方法 [P].

王慧 ;

周诗 ;

温玉楠 .

中国专利 :CN114473641A ,2022-05-13

[15] 表面高反材料平面度测量装置及方法 [P].

赵春花 .

中国专利 :CN102853787A ,2013-01-02

[16] 一种玻璃表面平坦度检验设备 [P].

段永青 .

中国专利 :CN214372313U ,2021-10-08

[17] 一种玻璃表面平坦度检验设备 [P].

吴星月 .

中国专利 :CN213041162U ,2021-04-23

[18] 一种玻璃表面平坦度检验设备 [P].

张莹 ;

范兴成 ;

周波 ;

夏季 .

中国专利 :CN218469758U ,2023-02-10

[19] 一种提高外延片表面平坦度的方法 [P].

梁永立 ;

陈杰 ;

陈猛 .

中国专利 :CN117727621A ,2024-03-19

[20] 一种表面粗糙度在线测量装置 [P].

张鹏翀 ;

刘瑞珍 ;

陈峙 ;

王荣军 ;

杨晶晶 ;

马立峰 ;

闫献国 .

中国专利 :CN108955514B ,2024-06-11

← 1 2 3 4 5 →