一种表面平坦度测量装置及方法

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专利类型
发明
申请号
CN201811395350.7
申请日
2018-11-22
公开(公告)号
CN109341606A
公开(公告)日
2019-02-15
发明(设计)人
张进朋
申请人
申请人地址
430079 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
IPC主分类号
G01B1130
IPC分类号
代理机构
深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300
代理人
黄威
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]   晶圆平坦度测量装置及晶圆平坦度测量系统 [P]. 
刘源 ;
牛景豪 .
中国专利 :CN108807204B ,2018-11-13
[2]   晶圆表面平坦度测量系统 [P]. 
牛景豪 ;
刘源 .
中国专利 :CN108155110A ,2018-06-12
[3]   一种薄板平坦度测量装置 [P]. 
黄勇 .
中国专利 :CN209783507U ,2019-12-13
[4]   曲面玻璃平坦度测量装置及测量方法 [P]. 
高云蛟 ;
王东江 ;
高尚 .
中国专利 :CN119779126A ,2025-04-08
[5]   立式平坦度测量装置 [P]. 
阮兆武 .
中国专利 :CN202149767U ,2012-02-22
[6]   一种晶圆的平坦度测量装置及方法 [P]. 
杨晓丰 .
中国专利 :CN120506909A ,2025-08-19
[7]   晶圆的平坦度测量装置及方法 [P]. 
徐新华 .
中国专利 :CN119581391A ,2025-03-07
[8]   晶圆的平坦度测量装置及方法 [P]. 
徐新华 .
中国专利 :CN119581391B ,2025-04-18
[9]   研磨盘平坦度测量装置及测量系统 [P]. 
陈光林 .
中国专利 :CN213396971U ,2021-06-08
[10]   一种改进表面平坦度的方法 [P]. 
D·L·亚特斯 ;
J·A·德鲁斯 .
中国专利 :CN101127363A ,2008-02-20