一种基于液面法的高精度大平面平面度检测方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210062768.2
申请日
2012-03-11
公开(公告)号
CN102607474A
公开(公告)日
2012-07-25
发明(设计)人
邹鲲 戴惠良 方波 闫如忠 杨延竹 毛剑峰 温锦华
申请人
申请人地址
201620 上海市松江区人民北路2999号
IPC主分类号
G01B1322
IPC分类号
G01B1130
代理机构
上海申汇专利代理有限公司 31001
代理人
翁若莹;柏子雵
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码
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共 50 条
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