共 50 条
一种包含不同透光性的新型光学掩膜版
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811599809.5
申请日：
2018-12-26
公开(公告)号：
CN111367142A
公开(公告)日：
2020-07-03
发明(设计)人：
张振
刘佳擎
申请人：
申请人地址：
223800 江苏省宿迁市宿迁经济技术开发区发展大道西侧（商务中心2005室）
IPC主分类号：
G03F188
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-03 | 公开 | 公开 |
| 2020-12-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/88 申请日:20181226 |
