一种掩膜版

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210071205.3

申请日：

2022-01-21

公开(公告)号：

CN114525470B

公开(公告)日：

2024-06-04

发明(设计)人：

周俊吉李哲郑庆靓刘鑫

申请人：

成都拓维高科光电科技有限公司

申请人地址：

610000 四川省成都市高新区康强一路1188号

IPC主分类号：

C23C14/04

IPC分类号：

C23C14/24 H10K71/16

代理机构：

成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276

代理人：

朱彬

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-04	授权	授权

共 50 条

[1] 一种掩膜版 [P].

周俊吉 ;

李哲 ;

郑庆靓 ;

刘鑫 .

中国专利 :CN114525470A ,2022-05-24

[2] 掩膜版及掩膜版组件 [P].

张涛 .

中国专利 :CN108269755A ,2018-07-10

[3] 一种掩膜版 [P].

张家清 ;

盛科 ;

黄守银 ;

黄秋蓉 ;

王海宏 ;

焦峰 .

中国专利 :CN203882089U ,2014-10-15

[4] 一种掩膜版 [P].

昝昱廷 ;

何信儒 ;

谢毅 ;

李振华 .

中国专利 :CN113388809B ,2021-09-14

[5] 掩膜版及掩膜版的制备方法 [P].

顾明亮 ;

叶超 ;

江俊波 .

中国专利 :CN119024636A ,2024-11-26

[6] 一种光刻掩膜版 [P].

潘建英 ;

王成森 ;

沈怡东 ;

钱如意 ;

沈广宇 .

中国专利 :CN207249352U ,2018-04-17

[7] 一种掩膜版的量测补值方法、掩膜版及掩膜版的制备方法 [P].

张海杰 ;

杨祖有 .

中国专利 :CN109212897A ,2019-01-15

[8] 一种蒸镀掩膜版 [P].

王静 ;

董艳波 .

中国专利 :CN203999787U ,2014-12-10

[9] 高精密掩膜版 [P].

唐军 .

中国专利 :CN107815642A ,2018-03-20

[10] 高精密掩膜版 [P].

唐军 .

中国专利 :CN207685337U ,2018-08-03

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