共 50 条
一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置
被引:0
专利类型:
实用新型
申请号:
CN200620149569.5
申请日:
2006-12-18
公开(公告)号:
CN201078747Y
公开(公告)日:
2008-06-25
发明(设计)人:
巩岩
申请人:
申请人地址:
130031吉林省长春市东南湖大路16号
IPC主分类号:
G01M1100
IPC分类号:
G01M1102
代理机构:
长春菁华专利商标代理事务所
代理人:
南小平
法律状态:
授权
国省代码:
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法律状态
法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
2008-06-25 | 授权 | 授权 |
2011-03-09 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101055730557 IPC(主分类):G01M 11/00 专利号:ZL2006201495695 申请日:20061218 授权公告日:20080625 终止日期:20100118 |