一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN200620149569.5
申请日
2006-12-18
公开(公告)号
CN201078747Y
公开(公告)日
2008-06-25
发明(设计)人
巩岩
申请人
申请人地址
130031吉林省长春市东南湖大路16号
IPC主分类号
G01M1100
IPC分类号
G01M1102
代理机构
长春菁华专利商标代理事务所
代理人
南小平
法律状态
授权
国省代码
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