一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200620149569.5

申请日：

2006-12-18

公开(公告)号：

CN201078747Y

公开(公告)日：

2008-06-25

发明(设计)人：

巩岩

申请人：

申请人地址：

130031吉林省长春市东南湖大路16号

IPC主分类号：

G01M1100

IPC分类号：

G01M1102

代理机构：

长春菁华专利商标代理事务所

代理人：

南小平

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-06-25	授权	授权
2011-03-09	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101055730557 IPC(主分类):G01M 11/00 专利号:ZL2006201495695 申请日:20061218 授权公告日:20080625 终止日期:20100118

共 50 条

[1] 一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 [P].

巩岩 ;

李顺 ;

张巍 .

中国专利 :CN101625281A ,2010-01-13

[2] 一种6nm－100nm波段极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 [P].

巩岩 .

中国专利 :CN101169349A ,2008-04-30

[3] 一种成像质量测试装置 [P].

贺谭斌 ;

范建华 ;

徐宁 ;

吴淋昌 ;

梁小东 ;

吴兆豪 ;

张武海 ;

张晶 ;

曾成 .

中国专利 :CN223272137U ,2025-08-26

[4] 光学仪器及成像方法 [P].

周宇 ;

王俊杰 ;

吴润龙 ;

赵春竹 ;

王爱民 ;

程和平 .

中国专利 :CN118464853A ,2024-08-09

[5] 成像系统的成像质量测试方法、测试装置 [P].

崔启胤 ;

曹平 ;

董广军 .

中国专利 :CN118776817A ,2024-10-15

[6] 一种光学仪器自动测试装置 [P].

龙耀 ;

赖涛 .

中国专利 :CN215115107U ,2021-12-10

[7] 目视光学系统的成像质量测试方法、成像质量测试装置和电子设备 [P].

王川川 ;

陈远 ;

胡增新 .

中国专利 :CN110879131B ,2020-03-13

[8] 一种X射线设备用成像质量测试装置 [P].

周利 ;

谢卫华 .

中国专利 :CN212622331U ,2021-02-26

[9] 一种光学仪器检测装置 [P].

褚慧娟 ;

朱文芳 .

中国专利 :CN221445818U ,2024-07-30

[10] 航空相机红外成像设备动态成像质量测试装置及测试方法 [P].

姬琪 ;

张晓辉 ;

何煦 .

中国专利 :CN108020871A ,2018-05-11

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