光学邻近效应校正的方法

被引：0

申请号：

CN202210624948.9

申请日：

2022-06-02

公开(公告)号：

CN115100047A

公开(公告)日：

2022-09-23

发明(设计)人：

廖显煌曾鼎程胡展源

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区良腾路6号

IPC主分类号：

G06T500

IPC分类号：

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

刘昌荣

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-23	公开	公开

共 50 条

[1] 验证光学邻近效应校正的方法 [P].

金基盛 .

中国专利 :CN113219785A ,2021-08-06

[2] 光学邻近效应校正的切分方法与图案化的方法 [P].

黄品翰 .

中国专利 :CN118818881A ,2024-10-22

[3] 用于光学邻近效应校正的多变量求解器 [P].

威廉姆·S·翁 ;

陈斌德 ;

李江伟 ;

西部达夫 ;

陆颜文 .

中国专利 :CN102221776B ,2011-10-19

[4] 用于光学邻近效应校正的多变量求解器 [P].

威廉姆·S·翁 ;

陈斌德 ;

李江伟 ;

西部达夫 ;

陆颜文 .

中国专利 :CN101359170B ,2009-02-04

[5] 一种环形图案的光学邻近效应校正方法 [P].

杨尚 ;

韦亚一 ;

张利斌 .

中国专利 :CN112859536A ,2021-05-28

[6] 一种层次化的光学邻近效应校正方法 [P].

严晓浪 ;

史峥 ;

张宇孚 .

中国专利 :CN101013271A ,2007-08-08

[7] 一种基于像素的光学邻近效应校正的优化方法 [P].

马旭 ;

李艳秋 .

中国专利 :CN102122111A ,2011-07-13

[8] 训练机器学习模型以确定掩模的光学邻近效应校正的方法 [P].

陶峻 ;

S·H·L·巴伦 ;

苏静 ;

罗亚 ;

曹宇 .

中国专利 :CN113454532A ,2021-09-28

[9] 基于Abbe矢量成像模型的光学邻近效应校正的优化方法 [P].

马旭 ;

李艳秋 ;

董立松 .

中国专利 :CN102323723B ,2012-01-18

[10] 用于机器学习辅助的光学邻近效应误差校正的训练方法 [P].

文载寅 .

:CN113614638B ,2025-04-01

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