Sol-Gel法合成TiO2纳米粉末和薄膜

被引:52
作者
包定华,顾豪爽,邝安祥,黄桂玉
机构
[1] 湖北大学压电陶瓷技术研究所,西安交通大学电子材料研究室
关键词
二氧化钛(TiO2),金红石,Sol-Gel工艺,纳米粉末,薄膜;
D O I
暂无
中图分类号
TQ337.1 [];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
用Sol-Gel法成功地合成了TiO2纳米粉末和薄膜.研究了工艺参数如热处理温度,保温时间等因素对材料结构和物性的影响,粉末的平均粒径为3~100nm,比表面积为17~251m ̄2/g,其在室温至750℃之间经历无定形态→锐钛矿→锐钛矿与金红石共存→金红石的相交;以石英玻璃和单晶硅为基片,采用勺胶法获得了沿(101)择优取向的金红石薄膜,研究表明,薄膜经锐钛矿转变为金红石的转变温度固基片不同而异,但比凝胶粉末的转变温度高.
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