溶胶-凝胶工艺合成高取向PbTiO3铁电薄膜的实验研究

被引：9

作者：

顾豪爽

邝安祥

包定华

卢朝靖

王世敏

机构：

[1] 湖北大学物理系,湖北大学物理系,湖北大学物理系,湖北大学物理系,湖北大学物理系武汉市,,武汉市,,武汉市,,武汉市,,武汉市,

来源：

无机材料学报 | 1993年 / 01期

关键词：

溶胶-凝胶; 铁电薄膜; 取向;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

研究了溶胶-凝胶工艺中溶液浓度、热处理条件和衬底材料对 PbTiO3（简称 PT）薄膜结构的影响规律,用多层匀胶技术在（100）SrTiO3 单晶衬底上制备出钙钛矿结构（001）择优取向的 PT 薄膜.（001）峰对（101）峰的取向率为98%.薄膜厚度为0.5～1.0μm,表面均匀、致密、无裂纹.在（100）Si 单晶衬底上制备出钙钛矿型结构的 PT 陶瓷薄膜,在室温下其介电常数 e 约为45～88,介电损耗为0.05,饱和极化强度为6.60μC/cm.

引用

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