一种单晶硅表面金字塔塔底圆化结构的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411988878.0

申请日：

2024-12-31

公开(公告)号：

CN119776985A

公开(公告)日：

2025-04-08

发明(设计)人：

张敏敏赵亮吴疆波宰建陶钱雪峰

申请人：

上海交通大学绍兴新能源与分子工程研究院

申请人地址：

312000 浙江省绍兴市滨海新区马欢路398号科创园B幢501室

IPC主分类号：

C30B29/06

IPC分类号：

C30B33/10

代理机构：

绍兴市知衡专利代理事务所(普通合伙) 33277

代理人：

王余粮

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 29/06申请日:20241231
2025-04-08	公开	公开

共 50 条

[1] 一种单晶硅表面平顶金字塔绒面的制备方法 [P].

张敏敏 ;

赵亮 ;

吴疆波 ;

宰建陶 ;

钱雪峰 .

中国专利 :CN119767857A ,2025-04-04

[2] 一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法 [P].

张敏敏 ;

福克斯·斯蒂芬 ;

任朋 ;

陈彭 ;

黄彪辉 .

中国专利 :CN109666972A ,2019-04-23

[3] 一种制备单晶硅倒金字塔绒面的方法 [P].

张敏敏 ;

福克斯·斯蒂芬 ;

任朋 ;

陈彭 ;

黄彪辉 .

中国专利 :CN109686818A ,2019-04-26

[4] 一种有序单晶硅金字塔微结构的制备方法 [P].

陈学贤 ;

伊翔 ;

邹丽丽 ;

谭凯月 .

中国专利 :CN114852954A ,2022-08-05

[5] 一种有序单晶硅金字塔微结构的制备方法 [P].

陈学贤 ;

伊翔 ;

邹丽丽 ;

谭凯月 .

中国专利 :CN114852954B ,2024-04-02

[6] 单晶硅制绒添加剂及其制备方法、单晶硅制绒方法、具有金字塔的硅片 [P].

王婕 .

中国专利 :CN119465413A ,2025-02-18

[7] 单晶硅金字塔结构绒面的优化方法 [P].

吴俊清 ;

樊华 ;

贾泰 ;

从海泉 .

中国专利 :CN107675263A ,2018-02-09

[8] 一种在单晶硅衬底上制备金字塔阵列的方法 [P].

董刚强 ;

刘丰珍 .

中国专利 :CN103112816A ,2013-05-22

[9] 一种基于单晶硅衬底上多孔金字塔结构的制造方法 [P].

夏洋 ;

刘邦武 ;

李超波 ;

刘杰 ;

李勇滔 ;

陈瑶 ;

沈泽南 .

中国专利 :CN102140697A ,2011-08-03

[10] 在单晶硅表面制备均匀倒金字塔绒面的湿化学方法 [P].

杨立功 ;

孙霞 ;

符黎明 .

中国专利 :CN105070772A ,2015-11-18

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