晶圆缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411645711.4

申请日：

2024-11-18

公开(公告)号：

CN119599975A

公开(公告)日：

2025-03-11

发明(设计)人：

刘洁冯朋陈代高肖希程庚范雨龙周旭

申请人：

武汉光谷信息光电子创新中心有限公司

申请人地址：

430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区关山街邮科院路88号1幢1-3层

IPC主分类号：

G06T7/00

IPC分类号：

G06V10/75 G06V10/764 G06V10/82

代理机构：

武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225

代理人：

牛晶晶

法律状态：

公开

国省代码：

湖北省武汉市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-11	公开	公开
2025-03-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20241118

共 50 条

[1] 晶圆缺陷检测方法、装置、系统和计算机可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

肖安七 ;

张嵩 .

中国专利 :CN117853394A ,2024-04-09

[2] 晶圆缺陷检测方法、装置、系统和计算机可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

张嵩 ;

肖安七 .

中国专利 :CN117853392A ,2024-04-09

[3] 缺陷检测方法、装置、计算机设备及计算机可读存储介质 [P].

蒋焘 .

中国专利 :CN111583223A ,2020-08-25

[4] 缺陷检测方法、设备及计算机可读存储介质 [P].

吴雨培 ;

谢阳 .

中国专利 :CN117314895B ,2024-03-12

[5] 缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质 [P].

何兆铭 ;

毕海 ;

段江伟 ;

汪伟 ;

杨万里 .

中国专利 :CN114235759B ,2022-03-25

[6] 晶圆缺陷的检测方法、检测系统和计算机可读存储介质 [P].

周静兰 ;

谢真良 ;

徐杨喆 .

中国专利 :CN111863653A ,2020-10-30

[7] 晶圆检测方法、检测装置及计算机可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

李少雷 ;

马砚忠 ;

张朝前 ;

王兵 ;

王彦彦 ;

张嵩 .

中国专利 :CN112687571A ,2021-04-20

[8] 一种晶圆缺陷检测装置、方法、设备及计算机可读存储介质 [P].

陈海龙 ;

郭晓忠 ;

翁杰 .

中国专利 :CN119901682A ,2025-04-29

[9] 车辆检测方法、装置及计算机可读存储介质 [P].

何志权 ;

刘启凡 ;

曹文明 .

中国专利 :CN109766841B ,2019-05-17

[10] 缺陷检测方法、缺陷检测装置和计算机可读存储介质 [P].

冯豪文 ;

郭师峰 ;

吕高龙 ;

陈丹 ;

冯伟 .

中国专利 :CN113536894A ,2021-10-22

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