一种MEMS电容传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411076499.4

申请日：

2024-08-07

公开(公告)号：

CN118754052A

公开(公告)日：

2024-10-11

发明(设计)人：

许蔚侯斐

申请人：

睿创微纳（无锡）技术有限公司

申请人地址：

214001 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园G8-403-A

IPC主分类号：

B81B7/02

IPC分类号：

B81B7/00 B81C1/00 B81C3/00 G01D5/24

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

姚莹丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B81B 7/02申请日:20240807
2024-10-11	公开	公开

共 50 条

[1] MEMS电容传感器及其制备方法、电子设备 [P].

罗松成 ;

詹竣凯 ;

游博丞 ;

谢冠宏 ;

方维伦 .

中国专利 :CN113678472A ,2021-11-19

[2] MEMS电容传感器及其制备方法、电子设备 [P].

罗松成 ;

詹竣凯 ;

游博丞 ;

谢冠宏 ;

方维伦 .

中国专利 :CN113678472B ,2024-04-12

[3] MEMS电容传感器及制备方法 [P].

朱恩成 ;

陈磊 ;

张强 ;

王栋杰 ;

胡洪 .

中国专利 :CN114754904A ,2022-07-15

[4] 一种MEMS电容式传感器及其制备方法 [P].

李维平 ;

崔艳凤 ;

兰之康 .

中国专利 :CN112125275B ,2020-12-25

[5] 一种柔性电容传感器及其制备方法 [P].

孙瑜 ;

赵州 ;

郭庆凯 ;

杨来浩 ;

陈雪峰 .

中国专利 :CN114791326A ,2022-07-26

[6] MEMS传感器及其制备方法 [P].

戴维·L·马克斯 ;

森克·阿卡尔 ;

苏迪尔·斯里达拉穆蒂 .

中国专利 :CN117623211A ,2024-03-01

[7] MEMS传感器及其制备方法 [P].

戴维·L·马克斯 ;

森克·阿卡尔 ;

苏迪尔·斯里达拉穆蒂 ;

比尔·史蒂文森 .

中国专利 :CN120039822A ,2025-05-27

[8] MEMS传感器及其制备方法 [P].

汪建平 ;

胡铁刚 .

中国专利 :CN112357875A ,2021-02-12

[9] MEMS传感器及其制备方法 [P].

吴萍 ;

刘国安 ;

徐伟 .

中国专利 :CN105731360A ,2016-07-06

[10] MEMS传感器及其制备方法 [P].

毛剑宏 .

中国专利 :CN106365115B ,2017-02-01

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